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식각

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작성일 23-09-16 07:29

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-반도체 공정 중의 하나

-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻

,기타,레포트


식각

-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻-반도체 공정 중의 하나 반도체 공정 순서 (참고)식각 , 식각기타레포트 ,
등방성(isotropic) → 치수 조절이 힘듬
순수한 화학적 reaction(반응)
높은 선택적(Selectivity) reaction(반응)
원가는 비싸나 장비는 덜 비쌈
폐기물 처리 문제 수반

식각
설명



식각_ppt_01.gif 식각_ppt_02.gif 식각_ppt_03.gif 식각_ppt_04.gif 식각_ppt_05.gif 식각_ppt_06.gif

레포트/기타

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반도체 공정 순서 (참고)


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