[반도체工學(공학) ] 반도체 사진공정
페이지 정보
작성일 23-03-18 10:31
본문
Download : 사진공정.ppt
순서
반도체 공정 중 사진공정에 대한 이론과 방법에 대해 상세히 요약하여 이해와 자료 정리에 도움이 되는 확실한 자료임.
설명
목차
1. Photolithography Overview
2. Critical Dimension, Overall Resolution
Semi-Permanence(3 ~ 5 times), Cheapness
Made by thin gelatin file on thin glass
반도체공정, 사진공정, Photolithography
Mask
Made by Cr, FeO on glass
5. Next-Generation lithography
[반도체工學(공학) ] 반도체 사진공정
반도체 공정 중 사진공정에 대한 理論과 방법에 대해 상세히 요약하여 이해와 data(資料) 정리(arrangement)에 도움이 되는 확실한 data(資料)임.
3. Resist Profile
Emulsion MASK
1. Photolithograpy overview
In the IC industry, pattern transfer from masks onto thin films is accomplished almost exclusively via photolithography
레포트 > 공학,기술계열
본문내용
7. Example
Introduction
4. Resolution in Photolithography
Types of MASK
Download : 사진공정.ppt( 56 )
The stencil used to repeatedly generate a desires pattern on resist- coated wafers is called a mask
Hard surface MASK
6. Emerging Lithography
Permanence, Expensive
다.
